飞纳电镜能谱一体机 PhenomProX 是终的集成化成像分析系统。借助该系统，既可观察样品的表面形貌，又可分析其元素组分。
研究样品时，得到样品的形貌信息只是解决了一半问题。获得样品的元素组分信息往往也是非常必要的。借助全面集成、特殊设计的能谱探测器，飞纳电镜能谱一体机Phenom ProX 可以完善解决上述所有问题。
能谱仪是一种基于样品被电子束激发而产生 X 射线的分析仪器。Phenom的能谱仪无论软件、硬件都是完全集成设计在飞纳电镜能谱一体机 Phenom ProX 系统中。
Element Identification (EID)软件可以使用户实现多点分析，检测样品的元素组分。此外，该软件还可以扩展到元素分析线面扫（mapping）功能。分步操作界面可以帮助用户更方便地收集、导出分析数据。
Phenom ProX主要技术参数
| 电子放大 | 高 350,000X |
| 分辨率 | 优于 6 nm |
| 光学导航相机 | 彩色 |
| 加速电压 | 4.8 Kv - 20.5 Kv连续可调 |
| 真空模式 | 标准模式 降低荷电效应模式 |
| 探测器 | 背散射电子探测器 |
| 样品尺寸 | 大直径 32 mm |
| 样品高度 | 高 100 mm |