一款适用于6英寸及以下晶圆测试的标准探针台,也可用于单个器件,或样片的测试。
采用U型台面设计,更好的兼容各种类型探针底座。特殊设计的显微镜安装机构,可兼容金相显微镜或是普通的体式显微镜,方便客户灵活更换显微镜。预留升级接口,可按需要加装升级套件,扩展探针台应用功能。
特点与优势:
精密卡盘单元
卡盘采用优质不锈钢精密加工而成,盘面中心有独立真空吸附孔,方便器件的固定;另有环形真空吸附槽,分别兼容2寸、4寸、6寸晶圆。搭配日本进口工业真空泵,长久耐用,气路可单独控制;卡盘可选择接地或者接信号,也可选择独立绝缘,方便对不同器件的测试要求。
独立气路控制
可根据测试器件大小,独立控制吸附气路。设计上为了兼顾大、小器件的不同测试要求,真空吸附气路分成了吸附孔式和吸附环式,且吸附环大小还分为2寸、4寸等。在实际使用时可灵活控制。
纯合金材质底座
优质合金材料材质,表面精细化处理,优质电镀工艺使得触感***。我们总是细心的设计,每个细节的处理都为了提升用户在测试过程中的轻松和愉悦。这种体验能让测试者更有信心,更有创造力的去探究数据的因果。为此我们的努力才有了意义!
经典三目体式显微镜
标准三目体式显微镜,不仅可以通过目镜直接观察样品,还能外接CCD高清工业相机,将画面通过高清液晶屏幕显示出来。既方便测试点观察,还能随时一键拍照或是录像,方便保存测试数据。
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