微电子和半导体行业快速检验系统
检验、过程控制或缺陷和故障分析全部与速度相关：任何缺陷都有可能使生产陷入瘫痪；您需要一台显微镜来帮助团队尽快且尽可能准确地检测缺陷。
DM3 XL 检验系统助您节省检验时间。充分利用独特的宏观物镜，视场宽敞 30%。DM3 XL 为中等预算用户提供高端品质，因为您没有时间去妥协。
更多细节尽收眼底，工作效率高
看到更多细节意味着工作效率高。DM3 XL检验系统提供独特的物镜，可快速扫描大到 6" 的组件。放大倍率为 0.7x 的宏观物镜能够即刻采集 35.7 mm 的视场 —比可用的扫描物镜宽敞 30%。
通过常规扫描物镜看不见的区域在宏观概览下无所遁形：晶片边缘或中心显影不足的区域以及不均匀的径向膜厚度全部清晰可见，增强您的收益率
适用于所有相衬观察方法的 LED
DM3 XL 针对所有相衬观察方法使用 LED 照明：明场、暗场、微分干涉相衬 (DIC)、偏光和斜射照明。LED照明可提供恒定的色温，并在所有亮度等级下提供真彩色成像。您始终可以看到相同颜色的样品，获得可复制的结果。凭借长达 35,000小时的使用寿命和低能耗，LED 还具有巨大的成本节省潜能，并优化公司的碳排放。
> 在所有亮度等级下实现真彩色成像
> 自由调节
> 没有更换灯泡导致的停机时间
徕卡高性能物镜
DM3 XL 让您以实惠的价格享受到专业的光学特性，例如斜射照明或深暗场对比。
> 通过斜射照明检查侧面、 边缘或碎屑
> 使用深暗场物镜查看小的颗粒
> 符合
斜射照明非常理想地适用于侧面、边缘或碎屑检查。它可以帮助您从不同的角度照亮样品，是简单有效的形貌可视化方法 —是由于抗蚀剂残留物导致的透明形貌也能得到理想的照明。
深暗场对比的灵敏度大幅提升 — 尤其适用于检测样品
较低层中的微小划痕或小颗粒。暗场物镜的大工作距离还可以保护珍贵样品，避免其在检验中意外受损。
当然，DM3 XL 也符合 SEMI S2/S8 或 CE等国际规范和标准。
操作员控制更简单
采用人体工学设计的显微镜改进的不只是舒适度 — 它们在减轻肌肉劳损的还有助于提高生产率。 经过较长的工作时间DM3 XL依然支持您的团队交付结果。
调焦驱动器通过三档系统、样品保护挡板和扭矩调节装置确保操作高度。调焦限位装置可保护您避免意外受伤。您可在粗调、微调或超微调模式下进行调节，总移动范围 30 mm。
您的团队有显微镜专家，也有毫无显微镜经验的操作新手。凭借简单直观的功能，DM3 XL能帮助团队中的任何人 快速找到缺陷并采取相应的操作。彩色编码光圈辅助 (CCDA)基本操作简单直观，对比、景深清晰，有助于提升您的工作速度，并减少操作失误。
公司主要产品包括：生物显微镜、金相分析系统、偏光显微镜、宏观体视显微镜、数码显微镜、显微镜数码相机及照相接口、显微镜专用LED光源、数码图像分析系统，超景深数码3D显微镜等。
