颗粒测试(PARTICLE COUNTING)
在工艺应用中的高纯气体中如果含有颗粒污染物会削弱甚至破坏晶圆的回路。颗粒测试可以检查在高纯气体管
道中的颗粒污染物。激光探测器可以出色的完成对 VMB，气瓶柜，气体盘面和高纯气体管路的颗粒检查任务。也
可以提供对大宗气体，包括应用中的工艺氮气，氦气，氢气，氧气和氩气系统的颗粒检查。
特气管道颗粒测试验收标准：
参考标准：GB 50646-2011 特种气体系统工程技术规范
1.特种气体系统颗粒测试时，其气体流量应由管道直径确定；
2.测试气源的颗粒数应在规定颗粒直径状态为零；
3.测试气体中大于0.1~0.3微米的颗粒数应≤35颗粒/m³；连续3次达标为合格。
上海特气管路五项测试颗粒测试
更新：2024-08-13 16:21 发布者IP：220.196.239.132 浏览：0次
- 发布企业
- 上海昉科仪器设备有限公司商铺
- 认证
- 资质核验：已通过营业执照认证入驻顺企：第1年主体名称：上海昉科仪器设备有限公司组织机构代码：91310000MA7JPBJ04W
- 报价
- 请来电询价
- 关键词
- 特气管道,五项测试,颗粒测试,保压,氦检
- 所在地
- 上海市浦东新区惠南镇拱海路78弄
- 手机
- 18616593476
- 联系人
- 王经理 请说明来自顺企网，优惠更多
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产品详细介绍
| 成立日期 | 2022年03月04日 | ||
| 法定代表人 | 王倩（法定代表人） | ||
| 注册资本 | 20万 | ||
| 主营产品 | 特气五项测试，化学品管道测试 | ||
| 经营范围 | 许可项目：检验检测服务；特种设备检验检测（依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动，具体经营项目以相关部门批准文件或许可证件为准）一般项目：信息系统运行维护服务；普通机械设备安装服务；生态资源监测；环境保护监测；技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广；机械设备租赁；仓储设备租赁服务；租赁服务（不含许可类租赁服务）；电气设备修理；通用设备修理；半导体器件专用设备销售；半导体分立器件销售；五金产品零售；电子产品销售；机械设备销售；金属制品销售；管道运输设备销售；电子元器件批发；电子专用设备销售；光伏设备及元器件销售；电力设施器材销售；电子元器件零售；终端测试设备销售（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）。 | ||
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