KLA科磊Agilent安捷伦iMicro纳米划痕仪可轻松测量硬质涂层、薄膜和小尺寸材料等。其准确、灵活，并且用户友好，可以提供压痕、硬度测试、划痕和纳米级wanneng试验等多种纳米力学测试。作动器易于更换，能够提供大范围的动态载荷和位移，对于从软质聚合物到硬质金属/陶瓷等材料，均可以进行准确而可重复的测试。模块化的功能选项可以适配各种应用：材料力学特性图谱、频率相关特性测试、划痕和磨损测试以及高温测试。iMicro提供一整套的扩展功能选项，包括样品加热、连续刚度测量、NanoBlitz3D/4D材料力学性能成像、Gemini2D作动器用于摩擦学和其它双轴力学测量。
iMicro纳米划痕仪标配InForce1000作动器，用于进行纳米压痕和wanneng纳米力学试验，并可选配InForce50作动器用于测试较软的材料。InView软件包灵活、现代，让用户轻松进行纳米尺度测试。iMicro是一款紧凑型测试平台，其箱体中内置高速InQuest控制器和隔振框架。各种不同的材料和器件均可以进行测试，包括金属、陶瓷、复合材料、薄膜、涂层、聚合物、生物材料和凝胶等。
产品特色
InForce1000作动器采用电容式位移传感和电磁力驱动，且压头易于更换
InForce50作动器选件，提供Zui大50mN的法向力，可用于测量较软的材料；Gemini2D作动器选件，可实现两个方向的动态测量独特的压头校准系统，集成在软件中，可实现快速、准确的压头校准
InQuest高速控制器电路，数据采集速率可达100kHz，时间常数Zui快为20µs
XY运动系统以及易于安装的磁性样品台
高刚度框架，且集成隔振功能
集成显微镜，数字变焦，可实现jingque的压痕定位
符合ISO 14577等标准的测试方法
InView软件包，包含RunTest、ReviewData、InFocus、InViewUniversity在线培训和InView移动应用程序
产品应用
硬度和模量测量（基于Oliver-Pharr模型）
快速材料力学性能成像
ISO 14577硬度测试
聚合物损耗因子、储存模量和损耗模量
定量的划痕和磨损测试
高温纳米压痕测试
适用行业
大学、科研实验室和研究所
半导体与封装产业
PVD/CVD硬质涂层（DLC、TiN）
MEMS：微机电系统/wanneng纳米力学试验
陶瓷与玻璃
金属与合金
制药
涂层 涂料
复合材料
电池与储能
汽车与航空航天
半导体晶圆
半导体制造商通常致力于生产高质量的薄膜，而薄膜柔韧性较差将导致开裂和剥离。基底和外延层中未检测到的缺陷，也可能导致长期隐患和裂纹延展，造成器件失效。KLA纳米压痕仪能够测量超薄膜的弹性模量和硬度，及断裂韧性和开裂阈值，且不受基底的影响。将纳米力学性能与工艺参数建立关联，对于Zui大化半导体器件产能至关重要。
陶瓷与玻璃
陶瓷和玻璃因其独特的光学、力学和电学特性，而成为许多应用中使用的重要材料。陶瓷与玻璃的传统力学测试（例如，四点弯曲测试）可能既耗时又昂贵。iMicro可以快速表征少量材料的弹性模量和硬度。划痕测试功能也非常适合定量评估光学涂层的耐划伤性。
金属与合金
金属与合金在许多行业中发挥着重要作用，例如汽车、航空航天、医疗和半导体。金属与合金的传统力学测试（例如，拉伸测试）可能既耗时又昂贵。iMicro允许快速表征少量材料。它还让用户可以表征弹性模量、硬度和抗蠕变性，以及这些特性随空间位置变化的梯度。
电池与储能
电池材料的力学性能与电池的稳定性、充电容量和续航时间密切相关。iMicro纳米压痕仪非常适合测试各种电池材料，从软质锂金属到硬质陶瓷基片。iMicro提供面向多种环境的先进测量解决方案，其中包括干燥室和手套箱。
研发
KLA纳米压痕仪的设计，不仅面向要求严苛的研发应用所需的精度和准确度，还面向灵活的科学仪器。无论是测量新型材料的力学性能、检测金属的形变机理，还是分析随温度变化的应变速率敏感因子，iMicro都提供了纳米压痕测量能力，以实现先进的研究和加速开发进程。
制药、食品和个人护理
药品、食品和个人护理产品的力学性能与客户满意度和体验密切相关。材料的弹性模量或刚度可能与质地和触感有关。药物糖衣的力学性能对于准时释放药性也至关重要。iMicro纳米压痕仪提供的定量信息，补充了定性的客户反馈信息。
汽车与航空航天
KLA的纳米压痕仪可以在不同温度下对材料进行表征，这对于汽车和航空航天应用而言是一项关键功能。强度、刚度和与时间相关的力学性能都可以使用iMicro的纳米压痕技术进行测量。
纳米级通用测试
iMicro纳米压痕仪系统能够测量纳米级的机械变形和其他纳米力学特性。iMicro功能丰富，包括纳米压痕、压缩、拉伸、蠕变、应力松弛和疲劳的测量等。还支持标准和自定义试验方法。KLA纳米压痕仪团队的专职科学家还可提供咨询和实验设计。
