8吋至12吋 Wafer Auto AI AOI/OM(晶圆自动AI光学检测机)

【产品名称】

晶彩科技 – 8吋至12吋 Wafer Auto AI AOI/OM(晶圆自动AI光学检测机)

【设备规格与特色】

• 配备8"/12" LoadPort，支持Open Cassette、FOUP、FOSB等不同晶圆传送形式。

• 具备AI实时缺陷检测功能，实现即拍即检即分类，提升检测效率。

• 支持KLARF文件格式，可进行晶圆分区、分Die、以及Defect size & type分析，提供完整清楚的检测结果。

• 高速自动缺陷拍照，确保制程检查中不遗漏微小缺陷。

• 采用BF+DF光源设计，提供优越的光学成像效果，更能有效区分不同缺陷类型。

• 可检测Minimize缺陷尺寸：0.4微米(μm)，实现高灵敏度检测。

• 支持SECSGEM200/300标准，实现高度自动化的工厂设备整合。

晶彩科技的8"-12" Wafer Auto AIAOI/OM(晶圆自动AI光学检测机)，LoadPort搭载检测系统展现卓越的功能与性能，不仅提供灵活多样的晶圆传送形式，拥有AI实时缺陷检测功能，实现即拍即检即分类，使检测过程更为高效。机台更支持KLARF文件格式的特性使得机台能够进行晶圆分区、分Die、以及Defectsize & type分析，提供完整的检测报告，帮助制造商更有效地管理质量控制。

高速自动缺陷拍照功能确保在制程中能够实时侦测并记录微小缺陷，保持生产质量的持续高水平。BF+DF光源设计提升光学成像效果，有助于更准确区分不同缺陷类型，并可检测Minimize缺陷尺寸达到0.4微米(μm)确保微小缺陷不被忽略。

【晶彩科技 – AI AOI卓越品牌】

晶彩科技拥有超过24年的丰富光学检量测经验，深耕AOI领域多年，设备多年来获得国内外大厂的采用高度信赖。我们深谙AOI技术的四大核心领域：光学、检测、软件控制、机构，并致力于以匠人之心打造每一台AOI检量测设备，为客户提供可靠的设备与服务。

晶彩科技位于上海的子公司「晶隼彩光电科技（上海）有限公司」，亦为晶彩科技在中国大陆地区，提供更全面的国际化服务。

【营业据点】

晶彩科技总部位于台湾地区新竹竹北，在台中与台南拥有办公室。晶彩科技亦在上海设有分公司晶隼彩光电科技（上海）有限公司，专注处理设备进出口、技术相关之其他设备服务事宜。

为提供中国地区的高效快速的服务，晶彩科技于上海、咸阳、滁州、昆山、重庆、福建、武汉、浙江、广州、长沙、深圳等地设有服务据点，以实现全国范围内客户的快速支持，打造全方位的AOI产业布局。

晶彩科技检量测设备一览

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