354Micro-ion
Granville PhillipsMicro-ion真空规是世界上非常小的电离真空规，其压力测量基干带电电子与真空规管中气体分子碰括所产生的离子电流的量。通过多种改进，在小体积内取得了高性能。这些改进包括获得的双离子收集极设计，可以优化电子运动和离子收集。双灯丝减少了计划外停机。由于有第二根灯丝做备用规管可以工作到定期维护时再更换。超清洁结构(包括所有组件的真空烧制和在洁净度100级的洁净室环境中的组装)确保在真空室抽气的过程中快速、可重复的响应。
紧凑尺寸、高性能和坚固耐用、全金属外壳使得Micro-lon模块成为众多高真空应用的明智选择。
特点
真空压力测量至10E-9Torr
双灯丝增加设备的正常运行时间
超洁净结构在抽气过程中实现快速响应
坚固耐用的金属结构，抗射频和噪音符合CE标准
可选本地显示器有助于设置和诊断
数字接口可用于计算机控制系统
技术规格
| 测量范围（对于N2和空气） | 10E-9Torr至5 × 10E-2Torr |
| 发射电流 | 0.1,4mA |
| 除气 | 电子轰击，3W，带2分钟定时器 |
| 过压保护 | 在出厂设置压力上线时规管关闭 |
| 重量 | 370g，KF16法兰 |
| 电源 | 24Vdc±15%，12W |
| 工作温度 | 0-40℃，非冷凝 |
| 外壳 | 铝材 |
| 认证 | CE认证 |
| 模拟输出型 | |
| 输出 | 1V/数量级，对数，0-9V |
| 灯丝控制 | 模块顶部切换开关 |
| 输入信号 | 灯丝开/关。除气开/关以及发射电流通过对地通断性来设置 |
| 输出信号 | 灯丝和除气开/关状态由开路集成电机晶体管来决定 |
| 接口 | 9针D-sub插针公头 |
| 显示器（选配） | 2位加指数，绿色LED |
| 数字接口型 | |
| 通讯 | RS485，一个设定点继电器 |
| 参数可调 | 灯丝开/关，除气开/关，发射电流选择，灯丝选择，设定点（值，方向和滞后） |
| 波特率 | 19200波特率（默认值） |
| 数据格式 | ASCII，8位数字位，1位停止位，无奇偶校验位，无反馈校验（默认） |
| 继电器配置 | 一个设定点继电器SPDT |
| 继电器触点额定值 | 1A，30V直流阻抗负载时；0.5A，125V交流非电感式时 |
| 接口 | 9针D-sub插针式公头 |
| Micro-ion真空计 | |
| 敏感度 | 20/Torr，15/mbar，0.15/Pa |
| X射线极限 | ＜3 × 10E-10Torr |
| 灯丝材料 | 氧化钇涂层铱丝或钨丝 |
| 暴露于真空的材料 | 304不锈钢，氧化铝，钽，钨，CuAg共晶，Kovar合金 |
| 烘烤温度 | 200℃，拆除电子设备 |
订购资料
| 本体模块 | 表示符 |
| 模拟量输出，无显示器 | 354001 |
| 模拟量输出，3位显示器 | 354002 |
| RS485数字接口，无显示器 | 354005 |
| 灯丝组件 | |
| 氧化钇涂层铱丝 | Y |
| 钨丝 | T |
| 法兰连接 | |
| KF16 | D |
| KF25 | E |
| KF40 | K |
| CF16 | F |
| CF35 | G |
| 8VCR | H |
| 测量单位 | |
| Torr | T |
| mbar | M |
| Pa | P |
例如：354001-YE-T，表示：模拟量输出，无显示器，氧化钇涂层铱丝，KF25接口，单位Torr的真空计
置换产品：Instrutech inc
| 本体模块 | GP 354 | MKS 355 | Instrutech IGM401 |
| 模拟量输出，无显示器 | 354001 | 355-4-00 | IGM401 |
| 模拟量输出，3位显示器 | 354002 | 355-6-00 | IGM401 |
| RS485数字接口，无显示器 | 354005 | 355-4-10 | IGM401 |
| 灯丝组件 | |||
| 氧化钇涂层铱丝 | Y | Y | Y |
| 钨丝 | T | T | T |
| 法兰连接 | |||
| KF16 | D | D | B |
| KF25 | E | E | C |
| KF40 | K | K | D |
| CF16 | F | F | E |
| CF35 | G | G | F |
| 8VCR | H | H | H |
例如：
GP：354002-YE-T
MKS：355-6-00-0-YE-T
Instrutech：IGM401YCD
这三个产品能完全通用。