扩散硅压力传感器
硅传感器,是用于医学、军事与航空航天、工业和汽车应用。基本原理是利用半导体的压阻效应和微机械加工技术,在单晶硅片的特定晶向上,用光刻、扩散等半导体工艺制做一惠斯登电桥,形成敏感膜片,当受到外力作用时产生微应变,电阻率发生变化,使桥臂电阻发生变化(一对变大一对变小)在激励电压信号输出,经过计算机温度补偿、激光调阻、信号放大等处理手段和严格的装配检测、标定等工艺,生产出具有标准输出信号的压力变送器.
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什么叫扩散硅压力传感器
扩散硅压力传感器工作原理:硅单晶材料在受到外力作用产生极微小应变时(一般步于400微应变),其内部原子结构的电子能级状态会发生变化,从而导致其电阻率剧烈变化(G因子突变)。
用此材料制成的电阻也就出现极大变化,这种物理效应称为压阻效应。利用压阻效应原理,采用集成工艺技术经过掺杂、扩散,沿单晶硅片上的特点晶向,制成应变电阻,扩散硅压力传感器多少钱,构成惠斯凳电桥,利用硅材料的弹性力学特性,在同一切硅材料上进行各向异性微加工,就制成了一个集力敏与力电转换检测于一体的扩散硅传感器。
给传感器匹配一放大电路及相关部件,使之输出一个标准信号,扩散硅压力传感器,就组成了一台完整的变送器。
扩散硅敏感膜片的弹性形变量在微应变数量级,膜片zui大位移量在来微米数量级,且无机械磨损,无疲劳,扩散硅压力传感器报价,无老化。平均无故障时间长,性能稳定,可靠性高.
扩散硅压阻传感器的发展与现状
固态压阻传感器自 1967年美国的库利特半导体公司首先为波音公司研制 ,成功用于风洞测试 , 1970年法国斯鲁母贝格公司生产并用于协和式大型客机和阿波罗飞船中 , 国外将其首先用于航空和宇航等军事工业中, 由于其自身的优点十分引人注目 , 因此 , 近年来 , 美、 日、 德、 法、英等许多仪器仪表制造厂纷纷研制生产。我国从七十年代初开始研究并取得了较好的成果 ,压阻传感器本身已经历了从结构型到物性型至今天的智能型三个发展阶段。 随着科学技术 , 特别是微电子和计算机技术的发展 ,压阻传感器的灵敏度、 精度和可靠性及信息传输功能大大提高 , 从而扩大了人们对各种现象和过程的观测范围和控制范围。 由于扩散硅压阻传感器具有广泛的应用前景 , 因而压阻传感器的竞争也十分激烈。 元器件的品种增多 , 温压范围已经拓展:已有微压、 表压、 高压、 绝压、 差压等力敏元件及其配套仪表问世。每年世界性固态压力传感器专利有几十项。 潜在功能比较大 ,既可以代替人类五官感觉的功能 , 也能检测人类不能感觉的信息。
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