测试原理:※起泡点法测试原理:当滤膜和滤芯用一定的溶液完全浸润,然后通过气源在一侧加压(我们仪器里面有进气控制系统,初效过滤器厂家,可以稳定压力,调节进气),随着压力的增加,气体从滤膜的一侧放出,表现膜一侧出现大小、数量不等的气泡,通过仪器判断出对应的压力值就是泡点。※扩散流法测试原理:扩散流测试是指当气体压力在滤芯起泡点值的80%时,这时还没有出现大量的气体穿孔而过,只是少量的气体先溶解到液相的隔膜中,然后从该液相扩散到另一面的气相中,这部分气体称之为扩散流。
在国外项目中和国内新项目中,F8过滤器是非均匀流洁净室尤为常见的预过滤器。对于芯片厂100级,10级或更高等级别的洁净厂房,预过滤器的常见的效率级别为H10,许多新项目索性选用HEPA。在国内过去的洁净室空调系统设计中,过滤器常见配置为:粗效中效高有效。那时高有效过滤器的使用寿命仅为1--3年,尤其差的也就几个月。可见,预过滤器的效率的高低决定末端过滤器使用的寿命。
过滤器由壳体、多元滤芯、反冲洗机构、和差压控制器等部分组成。壳体内的横隔板将其内腔分为上、下两腔,上腔内配有多个过滤芯,这样充分了过滤空间,显着缩小了过滤器的体积,下腔内安装有反冲洗吸盘。工作时,浊液经入口进入过滤器下腔,又经隔板孔进入滤芯的内腔。大于过滤芯缝隙的杂质被截留,净液穿过缝隙到达上腔,之后从出口送出。
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