国产SU8 20
U-8 2000系列的特性
1)厚度范围,单层涂胶厚度为 0.5 to > 200 μm
2)高深宽比:>10:1
3)更多挥发性溶剂,与传统去边工艺兼容
4)降低了极性溶剂含量减小表面张力
5)表面活性成分,改善涂覆效果
应用:MEMS,钝化层应用LED微流以及光电子器件制作
SU-8 2000系列的属性
1)旋转涂层薄膜:<1um to >75um
2)耐高温、耐化学性
3)光学透明
4)与i-line成像设备兼容
00.5/2002/2005/2050/2075/3025/3050环氧树脂光刻胶