氦质谱检漏仪细检漏灵敏度相对较高，无损无害，检测效率较高，是目前应用为普遍的细漏检测方法。
真空设备检漏流程，当容器的体积比较大，且需要进行真空检漏时，就需要使用氦质谱检漏仪搭配辅抽泵组一起来完成容器的内腔体泄漏检测。具体实施过程是将辅抽泵组与被检的容器连接后，通过泵组将腔体内部抽到一定的真空度，然后开启检漏仪，通过对容器表面可疑泄漏处（通常是焊缝、法兰连接等）喷吹氦气，观察检漏仪的读数，来寻找泄漏点。
喷氦法一般用于检测体积相对较小的部件,将被检器件和仪器连通,在抽好真空后,在被检器件可能存在漏孔的地方(如密封接头,焊缝等)用喷枪喷氦,如果被检器件某处有漏孔,当氦喷到漏孔上时,氦气立即会被吸入到真空系统,从而扩散到质谱室中,氦质谱检漏仪的输出就会立即有响应。
吸枪法是先向压力容器装置中充入一个以上的大气压的氦气或氦气与其他气体的混合气，从压力容器装置的外部检测从漏孔泄漏到外部的氦气，进而发现漏孔。
背压法是通过对真空容器进行高压氦气的充压，使氦气经漏孔进入被检件内部，然后通过干燥氮气冲刷或静置手段去除吸附在被检件外表面的氦气，之后将被检件放入真空室并将真空室抽成真空状态，利用压差作用判定漏孔的存在及其漏率。
氦质谱检漏仪的工作原理是用质谱分析法测定氦的分压强。大型工业容器在一般工业上的应用相当广泛，这类容器在生产时需要对其密封性能进行检测，如果泄漏严重，通常会对附属设备、工艺条件产生不良影响。
安徽歌博的氦质谱检漏仪广泛应用在真空系统设备检漏行业，多年来凭借便捷的操控，卓越的性能,以及高灵敏超稳定等优点被业内工程人员广泛认可，检漏设备棒棒哒。