质谱检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术，由于检漏-，简便易操作，仪器反应灵敏，-质谱检漏仪，精度高，不易受其他气体的干扰，在各行各业检漏中得到了广泛应用。-质谱检漏仪是根据质谱学原理，用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。歌博氦质谱检漏仪是一种通过真空喷氦法、吸枪法、氦罩法、背压法等检测方法实现氦气或氢气的快速精妙检测仪器，适用于各种高要求的工业泄漏检测。
1.将被检测物体内充入氦气，并确保充气充分。
2.将检漏探头安装至泄漏口上，并打开光电倍增管供电开关。
3.氦气通过泄漏口泄漏出去，与空气混合形成漏气空气混合物。
4.检漏探头吸入漏气空气混合物，并通过真空系统抽取样气进入质谱分析仪。
5.质谱分析仪将氦气特异地分离出来，并通过光电倍增管检测氦气的信号强度。
6.当检测到氦气信号强度超过预设阀值时，表示存在泄漏，检漏仪会发出声音或闪光报警。
通过这种方法，氦质谱检漏仪可以检测各种形式的泄漏问题，包括压力泄漏、真空泄漏和液体泄漏等。由于氦气的特性，检测灵敏度高、响应速度快，因此被广泛应用于各种工业制造和化学实验中。
氦质谱检漏仪部分参数（仅供参考）
仪器的启动时间:不大于5min
zui小可检漏率:优于5x10-13Pa~ m3/s
反应时间:不大2s
测试口允许工作的zui高压强:1500Pa
仪器的重量:约70Kg
主要配置:
涡轮分子泵(德国莱宝、普发)
前级泵(德国莱宝)
粗抽泵(英国爱德华)
校准漏孔(有计量校验证书)
质谱分析室(歌博)
控制电路(歌博)
仪器的使用条件
境温度: +5°C~ + 35%C
环境相对湿度: 50~ 80%
供电电源: 220V + 22V,功率约为1KW:
仪器附近无强电磁场干扰