氦质谱检漏仪由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成，一般根据被检测产品时间使用工况来选择检漏方法，氦检漏设备尽可能模拟被检件实际工作环境才能较大程度保证检测可靠性，具体实施方案可与厂家沟通；欢迎咨询我们。
（一）喷氦法
喷氦法是常用，比较方便的检漏方法。检漏时，用连接在装有氦气的气瓶上的喷枪向怀疑有漏泄的部位喷氦气，如果有氦气从漏孔中流入压力容器装置，则装置内的氦分压就会上升，氦检漏仪上就会显示有泄漏率。是否合格要看标准漏率值是定在多少，超过标准漏率值的可视为不合格。
（二）吸枪法
吸枪法是先向压力容器装置中充入一个以上的大气压的氦气或氦气与其他气体的混合气，从压力容器装置的外部检测从漏孔泄漏到外部的氦气，进而发现漏孔。用吸枪寻找氦气时，一旦氦气被吸入，氦检漏仪就会显示出漏率值。在这种情况下，因为压力容器装置外部是一个大气压，所以充入压力容器装置内的气体压至少需要一个大气压以上。但压力不宜过高，压力过高，插在装置上的压力表或其它插件就会弹出而发生伤人等危险事故。
（三）背压法
全密封件进行气密性检测时采用背压法。检漏前用压氦罐向被检件压入氦气（由压力和时间控制压入的量），然后取出被检件，吹去表面吸附氦气；或者先在被检件前道工艺中向产品内部封入氦气。被检件放入检漏罐中，再将检漏罐连接到氦质谱检漏仪，对检漏罐抽真空检漏，被检件有漏孔存在，通过漏孔压入（或封入）被检件的氦气会泄漏出来进入检漏罐，被氦质谱检漏仪定量检测到。用这种方法测得的漏率是总漏率。
不同行业、不同产品有不同的漏率标准，使用氦检漏方法检测时，首先需将产品行业漏率转换为氦气漏率，然后结合设备的机器因子来确定漏率报警点。实质上就是一个等效过程，安徽歌博能够根据用户产品实际情况提供一整套漏率报警点设定理论依据；