氦质谱检漏仪是一种高精度的检漏仪器，被广泛应用于各类密封容器的检测中。它利用氦气的化学性质，通过检测容器内部和外部的氦气浓度差，来判断容器是否存在泄漏。
氦质谱检漏仪检测的原理是：在密封容器内部，氦气的浓度会比外部高。一旦容器出现泄漏，氦气会从容器内部逃逸到外部，从而在容器内外形成一定的浓度差。通过检测这个浓度差，就可以判断容器是否存在泄漏
。
氦质谱检漏仪的检测范围非常广泛，可以应用于各类密封容器的检测，如玻璃瓶、塑料瓶、金属罐、橡胶塞等等。这些容器在生产、运输和使用过程中，都可能会出现泄漏，因此氦质谱检漏仪的检测是非常必要的。
氦质谱检漏仪在许多领域里得到广泛的应用,例如,在航空航天领域里宇宙飞船、航天飞机、火箭、卫星、飞机等这些都要用到真空检漏技术。在一般工业领域里原子能、发电厂、配电站、合成氨的氮肥生产厂、汽车制造业、造船工业、制冷工业、冶金工业、输气管道、气罐、油罐、锅炉食品包装等都离不开检漏问题。
氦质谱检漏仪设备日常保养：
1、定期检查机械泵的油位，如果不足要及时添加；如果机械泵油呈棕色、褐色或闻起来有糊味，说明油已经变质。此时，应放出泵中油，必要时，先用新油冲洗后，再注入新油。
2、定期清洗或更换机械泵的排气管。如果发现排气管内积存了很多油滴，可以将其从仪器内部取下来，然后清洗它，再用热风吹干或是自然晾干。