射线管发射具有高能量的粒子束照射样品， 当其能量大于样品原子中某一轨道电子的结合能时， 便可将该轨道的电子逐出， 形成空穴，即时外层电子跃向空穴， 电子轨道层的能量差将以特征X射线荧光逸出原子， 其能量差与原子序数相对应，以此能谱的峰位和净强度进行定性和定量分析。依据RoHS检测中元素的特点以及大量实际检测经验，能量色散X射线荧光光谱仪因其激发源采用较大功率的Rh靶来产生特征X射线激发样品原子中K层L层谱线， 可降低背景
这类标物目前有欧盟研制的用于塑料样品X射线荧光分析的， 代号JSAC0651-55， 圆片状， 规格为4*40mm;用于塑料样品X射线荧光分析的铅、镉、铬、， 代号JSAC0631-32， 圆片状，规格为4*40mm;还有我国研制的RoHS检测X射线荧光分析用ABS中的铅、镉、铬、， 代号GBW (E)081634-081638， 圆片状， 规格为4*40 mm;Ro HS检测X荧光分析用PVC中的铅、镉、铬、， 代号GBW (E)081121-081125， 圆片状， 规格为4*40 mm。
Compass500能量色散ROHS分析仪在快速无损、 现场ROHS筛选分析方法中， 具有不可取代的地位。无论是从硬件方面还是软件方面，CS995型红外碳硫分析仪， 特别是近几年， 随着微电子技术、 计算机技术、核技术和材料科学技术的发展， X射线光谱现场ROHS分析仪在以下几方面将得到进一步的发展。
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