流量控制器分类
按照通讯方式的不一样,热式气体质量流量控制器主要分为模拟型0-5V或4-20mA和数字型RS485 modbusRTU协议。随着工业行业的节能减排、节约成本、保护环境这方面的要求越来越严格,气体质量流量控制器在各行业中都广泛使用,特别是在:钢铁冶金、环保行业、新能源行业、氢燃料电池等行业。
应用行业:真空镀膜设备、半导体工艺设备、化学与化工实验设备、食品科学与工程设备、能源与环境保护设备、各种分析仪器设备、表面处理、真空冶金及材料工艺、高校及科研院所实验室设备。
热式气体质量流量控制器主要是用来控制各种气体的不同流量,用户一般使用的气源气体浓度为999,有些是9999。那么有些用户在使用超低浓度的气体时,是否还能用热式气体质量流量控制器来控制吗?低浓度的气体流经和通过流量计的时候,是否需要注意哪些问题呢?以及对气体的浓度有什么影响吗?
流量控制器
紧凑而坚固的仪器设计,为连续质量流量测量确保了重复性,用途非常广泛,可用于许多不同的行业和应用。安装位置以及安装方向对质量流量的检测无任何影响,即可随意安装且无直管段要求。本公司生产和销售的质量流量计和控制器过流阀体均采用316L不锈钢的材质,稳定性好,接触各种气体时很少会发生反应,故是适用于绝大多数的气体。在使用低浓度气体时,用户在订货时需特殊说明一下,本公司会根据实际使用,来选择相对应的密封材质,从而达到更好的适配性。即使是低浓度的气体,进口流量计报价,在通过流量计的时候,也是不会有吸附或干扰性的。
流量控制器的应用中IST流量传感器的作用
IST-AG通过特殊的薄膜工艺,进口流量计哪家好,将高精度加热器,温度传感器或电堆封装在单一芯片内,构成流量测量的主要传感单元(Figure2) ,通过流量传感器以响应绝大多数流量测量场景,薄膜技术的应用使得ISTAG流量传感器具有很好的结构与性能优势。为此IST流量传感器在MFC中的应用工采网推荐瑞士IST 质量流量传感器 -FS5.0.1L.195的升级版IST-AG FS7流量传感器。
IST公司的FS5.0.1L.195是一个热质流量传感器,用于各种气流应用.热质流量传感器使用热传递原则,确定流体的流率.随着流体通过传感器,热质由传感器传递到媒体.此关序取决于流动速率.随着流动增加,热量被传递.通过了解媒体的温度,进口流量计多少钱,即可通过为保持恒定温度差的电压补偿量得出流速。
而IST-AGFS7流量传感器宽广的测量范围允许将传感器直接置于被测气路当中,免去复杂的旁路设计。传感器具有陶瓷基底与钝化玻璃层进行保护,具有较佳的长期稳定性。
因此在终端应用中,质量流量控制器的可靠性多半是许多半导体工艺的基础。MFC的失准或制造缺陷会导致晶圆产量下降,甚至会损坏整个晶圆。采用IST流量传感器则可以为MFC产品带来如下优势:
1、足够宽的测量范围使得在许多场景中不必使用旁路,贵州进口流量计,而进行直接测量,提高测量的准确性。
2、薄膜技术带来极高的响应灵敏度,在一般测量状态就可以瞬间响应压力浪涌。
3、小巧的体积与简单的安装方式,给气路结构优化创造更大的空间。
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