利用高亮度的场发射电子枪来作电子源的阴级以提高束流密度，从而提高亮度。
缩短工作距离，既可以相对增大信号量、提高信噪比，又可以减小像差，也就是把试样尽量移近物镜级靴，这类似于光学显微镜中的短焦距“浸没透镜”方式。物镜的级靴区是获得高分辨图像的有效部位但由于该处的空间很小，一般只有毫米级的试样才能进得去，场发射扫描电镜价格，而且试样的移动范围很小，操作起来要格外小心，河南场发射扫描电镜，否则容易“四处碰壁”。这种模式由于焦距短，束斑受外界的影响小，像差也小，且能进入到该区域的试样座也要小，小样品台的稳定性相对会比较好，所以在该区域拍摄的照片，其图像分辨力能得到明显提高。
真空系统主要包括真空泵和真空柱两部分
真空系统主要包括真空泵和真空柱两部分。
真空柱是一个密封的柱形容器。真空泵用来在真空柱内产生真空。有机械泵、油扩散泵以及涡轮分子泵三大类，机械泵加油扩散泵的组合可以满足配置钨灯丝的扫描电镜的真空要求，但对于装置了场致发射或六硼化镧及六硼化的扫描电镜，场发射扫描电镜厂家，则需要机械泵加涡轮分子泵的组合。成象系统和电子束系统均内置在真空柱中。真空柱底端即为右图所示的样品室，用于放置样品。
需要真空的原因包括：一是电子束系统中的灯丝在普通大气中会迅速氧化而失效，所以需要抽真空。二是为了增大电子的平均自由程，从而使得用于成象的电子更多。
二次电子(SecondaryElectr)：电子束和样品作用，可将传导能带(conduction band)的电子击出，此即为二次电子，其能量约 <50eV。由于是低能量电子，所以只有在距离样品表面约50~500?深度范围内所产生之二次电子，才有机会逃离样品表面而被侦测到。由于二次电子产生的数量，场发射扫描电镜分辨率，会受到样品表面起伏状况影响，所以二次电子影像可以观察出样品表面之形貌特征。：入射电子和样品进行非弹性碰撞可产生连续X和特征X，前者系入射电子减速所放出的连续光谱，形成背景决定少分析之量，后者系特定能阶间之能量差，可藉以分析成分元素。
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