扫描电子显微镜SEM分析原理：用电子技术检测高能电子束与样品作用时产生二次电子、背散射电子、吸收电子、X射线等并放大成象。谱图的表示方法：背散射象、二次电子象、吸收电流象、元素的线分布和面分布等。提供的信息：断口形貌、表面显微结构、薄膜内部的显微结构、微区元素分析与定量元素分析等。
扫描电子显微镜SEM应用范围：
1、材料表面形貌分析，河北扫描电子显微镜，微区形貌观察
2、各种材料形状、大小、表面、断面、粒径分布分析
3、各种薄膜样品表面形貌观察、薄膜粗糙度及膜厚分析
扫描电子显微镜样品制备比透射电镜样品制备简单，不需要包埋和切片。
扫描电镜喷金工艺在样品表面形成薄膜有多种方法
扫描电镜喷金工艺
在样品表面形成薄膜有多种方法，对于sem扫描电镜和X射线显微分析，只有热蒸发和离子溅射镀膜实用。
蒸发镀膜：许多金属和无机绝缘体在真空中被某种方法加热，当温度足够高，蒸发气压达到1.3Pa以上时，就会迅速蒸发为单原子。
优点：可提供碳和多种金属的镀层，镀层精细均匀，适合非常粗糙的样品，高分辨研究。可以喷碳，有利于对样品中非碳元素的能谱分析。非导电样品观察背散射电子图像，进行EBSD分析，扫描电子显微镜生产，也应该喷碳处理。
价钱便宜使用普遍的是钨灯丝，以热游离(Thermionization) 式来发射电子，电子能量散布为 2eV，钨的功函数约为4.5eV，钨灯丝系一直径约100μm，弯曲成V形的细线，操作温度约2700K，电流密度为1.75A/cm2，在使用中灯丝的直径随着钨丝的蒸发变小，使用寿命约为40~80小时。
六硼化镧(LaB6)灯丝的功函数为2.4eV，较钨丝为低，因此同样的电流密度，天津扫描电子显微镜，使用LaB6只要在1500K即可达到，而且亮度更高，因此使用寿命便比钨丝高出许多，电子能量散布为1eV，扫描电子显微镜销售，比钨丝要好。但因LaB6在加热时活性很强，所以必须在较好的真空环境下操作，因此仪器的购置费用较高。
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