高温热式气体质量流量计是基于热扩散原理设计的一款流量仪表。利用流体流过发热物体时，发热物体的热量散失多少与流体的流量呈一定的比例关系。该系列流量计的传感器有两只标准级的RTD，一只用来做热源，一只用来测量流体温度，当流体流动时，两者之间的温度差与流量的大小成线性特征。再通过微电子控制技术将这种关系转换为测量流量信号的线性输出。
上海有恒测控生产的UHMF系列热式气体质量流量计是利用热传导原理测量流体流量的仪表，该仪表采用恒温差法对气体质量流量进行准确测量。热式气体质量流量计具有体积小，数字化程度高，安装方便，测量准确等优点。热式气体质量流量计是一种无须压力、温度补偿，就能方便地检测在管道中流动的天然气、空气、氢气、氧气、氯气、氦气、氩气、氨气、沼气、煤气、烟道气和（除乙炔气）等气体的质量流量测量及监控理想仪表。
产品特点
1、质量流量计可以地控制气体的给定量，这对很多工艺过程的流量控制、对于不同气体的比例控制等特别有用。
2、质量流量计可以将流量测量值以输出标准电信号输出。这样很容易实现对流量的数字显示、累积流量自动计量、数据自动记录、计算机管理等。对质量流量计而言，还可以实现流量的自动控制。通常,模拟的MFC/MFM输入输出信号为0～+5V或4～20mA,数字式MFC/MFM还配有RS232或RS485数字串行通讯口,能非常方便地与计算机连接,进行自动控制。
3、对于多数流量测控系统而言，很难避免系统的压力波动及环境和介质的温度变化。对于普通的流量计，压力及温度的波动将导致较大的误差；对于质量流量计，则一般可以忽略不计。
4、质量流量计有很宽的工作压力范围，我们的产品可以从真空直到10MPa;可以适用于多种气体介质（包括一些腐蚀性气体，如HCL）；有很宽的流量范围，我们的产品小流量范围可达0～5sccm，大流量范围可达0～200slm。流量显示的分辨率可达满量程的0.1%,流量控制范围是满量程的2～100百分之量程比为－－50:1,因此在很多领域得到广泛应用。
上海有恒热式气体质量流量计参数指标
测量范围：0.5—100Nm/s（20℃，101.33KPa）
准确度:±1%的读数 ±0.5%满量程
量程比：通常100：1（取决于标定流量的范围）
管径范围:15mm～6000mm
应用范围:适合各类单一或混合气体。含尘、含沙、含湿气、各种腐蚀性气体
环境温度范围:-40℃～+85℃(无显示); -30℃～+70℃(有显示); 湿度小于90%RH
介质温度范围:-40℃～+100℃；-40℃～+200℃； -40℃～+450℃；-40℃～+510℃8、传感器直径：ф3、ф2.5
插入式传感器探杆直径：ф19（标准）、ф16、ф12
传感器材质：316不锈钢、哈氏合金、钛
探杆材质（保护套）：316不锈钢（标准）、哈氏合金
双向测量介质流量
模拟量输出：流量：4-20mADC,温度：4-20mADC, 大负载:1000Ω
累积脉冲量输出
键入12段非线性修正，内置10段非线性修正
通讯：串口输出RS232/RS485
供电电源：24VDC/600mA；220VAC/2W；110VAC/3W
报警：1－2路继电器输出、5A/220V、5A/30VDC、键入设定
大屏幕LCD显示：七位瞬时流量，八位累积流量
过程压力:1.6Mpa（大20MPa）
安装工艺形式：插入式（卡套、卡套＋球阀、法兰连接）